精密、超精密加工和测量技术在航空、航天、核能、微电子、激光、仪表及医疗器械等得到应用，在解决自身抗振、高分辨率、环境温度控制、超净化等方面都有很大的提高。这些先进技术用于超高精加工的金刚石刀刃口圆弧半径已达0.002~0.004μm，可切下1nm厚的切削和表面粗糙度小于Ra0.01um的工件。